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不同退火过程对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

王文静 , 袁慧敏 , 萧淑琴

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00721

用射频溅射法制备了(Fe₈₈Zr₇B₅)_0.96Cu_0.04非晶软磁合金薄膜. 研究了不同退火条件对其巨磁阻抗(GMI)效应的影响. 该样品在自然退火和电流退火热处理后, 纵向GMI比下降, 并随退火电流的增加而增加, 在电流为800mA时达到最大值17%, 磁场灵敏度相对于未退火样品的4%(kA/m)^-1有所提高, 达到7%(kA/m)^-1. (Fe₈₈Zr₇B₅)_0.96Cu_0.04薄膜经不同温度下纵向磁场退火处理后, 样品的纵向和横向GMI比均有所提高, 在250℃获得最大的GMI比, 13MHz时, 最大纵向磁阻抗比达到17.5%, 表现为单峰; 横向磁阻抗比曲线变为双峰结构, 在±0.4kA/m的磁场下, 出现峰值为17.8%.

关键词: 铁基合金 , films , giant magneto-impedance effect , induced anisotropy